CVD金刚石涂层技术

CVD Diamond Coating Technology

CVD 金刚石涂层技术可在石墨、硬质合金、陶瓷等材料表面沉积出与天然金刚石性能相近的金刚石薄膜。

CVD 金刚石涂层膜具有以下特点:

1、极高的硬度、耐磨性和低的摩擦系数:可以应用各种工具,如高精度、超高精度加工的切削工具, 拉丝模工具、砂轮修整工具、摩擦环、密封环等多种耐磨部件。

2、具有高弹性模量:能制作频率响应最高(极高频3~5GHz)的声表面波器件以及频响可达到60KHz 以上的高音扬声器及声传感器。

3、自然界最好的导热材料:热导率高出银、铜等金属材料5倍以上,得天独厚的膜片形状是极为理想的电子器件大面积散热材料。

4、极高的绝缘电阻及与众多半导体材料有较好匹配的热膨胀系数:可以作为高功率密度电子器件, 如大功率半导体器件、微波器件和大规模集成电路最好的散热片。

5、优异的光学性能:从X 射线紫外光-可见光-红外光直至毫米的微波波段的高透过率, 可用作在恶劣环境中使用的光学窗口。

6、高温抗幅射性能:CVD 金刚石半导体器件最高工作温度可达600℃ 以上,可用在高温强幅射环境中工作的半导体器件及各种特性的传感器等。


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